最早在美國研究成功。碳化硅反應燒結的工藝過(guò)程為：先將α-碳化硅粉和石墨粉按比例混勻，經(jīng)干壓、擠壓或注漿等方法制成多孔坯體。在高溫下與液態(tài)Si接觸，坯體中的C與滲入的Si反應，生成β-碳化硅，并與α-碳化硅相結合，過(guò)量的Si填充于氣孔，從而得到無(wú)孔致密的反應燒結體。反應燒結碳化硅通常含有8%的游離Si。因此，為保證滲Si的完全，素坯應具有足夠的孔隙度。一般通過(guò)調整最初混合料中α-碳化硅和C的含量，α-碳化硅粒度級配，C的形狀和粒度以及成型壓力等手段來(lái)獲得適當的素坯密度。

　　實(shí)驗表明，采用無(wú)壓燒結、熱壓燒結、熱等靜壓燒結和反應燒結的碳化硅陶瓷具有各異的性能特點(diǎn)。如就燒結密度和抗彎強度來(lái)說(shuō)，熱壓燒結和熱等靜壓燒結碳化硅陶瓷相對較多，反應燒結碳化硅相對較低。另一方面，碳化硅陶瓷的力學(xué)性能還隨燒結添加劑的不同而不同。無(wú)壓燒結、熱壓燒結和反應燒結碳化硅陶瓷對強酸、強堿具有良好的抵抗力，但反應燒結碳化硅陶瓷對HF等超強酸的抗蝕性較差。就耐高溫性能比較來(lái)看，當溫度低于900℃時(shí)，幾乎所有碳化硅陶瓷強度均有所提高;當溫度超過(guò)1400℃時(shí)，反應燒結碳化硅陶瓷抗彎強度急劇下降。(這是由于燒結體中含有一定量的游離Si，當超過(guò)一定溫度抗彎強度急劇下降所致)對于無(wú)壓燒結和熱等靜壓燒結的碳化硅陶瓷，其耐高溫性能主要受添加劑種類(lèi)的影響。

　　總之，碳化硅陶瓷的性能因燒結方法不同而不同。一般說(shuō)來(lái)，無(wú)壓燒結碳化硅陶瓷的綜合性能優(yōu)于反應燒結的碳化硅陶瓷，但次于熱壓燒結和熱等靜壓燒結的碳化硅陶瓷。